產品介紹
超高真空排氣臺主要用于器件的排氣，SSI在超高真空排氣臺行業(yè)擁有多年的項目經驗，可以根據客戶的需求定制工藝過程。
主要技術參數：
1、系統(tǒng)極限真空度高，系統(tǒng)的極限真空可達10-8Pa 量級。
2、整個真空抽氣系統(tǒng)和真空測量系統(tǒng)采用進口配置，性能穩(wěn)定，可靠性高，全無油設計，無油氣污染。
3、多個抽氣工位（可以根據客戶的要求定制對接接頭），生產效率高。
4、觸摸屏顯示，方便簡單；電控參數可任意設定，便于用戶數據儲存及工藝調試。
