產(chǎn)品介紹
多功能整體腔室
1）整體腔室是由不銹鋼整體加工而成，沒(méi)有焊縫，避免焊接泄漏的風(fēng)險(xiǎn)
2）整體腔室具有眾多標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口，方便功能擴(kuò)展
3）所有產(chǎn)品均適用于10-11Torr超高真空環(huán)境
視窗擋板
1）視窗擋板分為標(biāo)準(zhǔn)視窗擋板、全遮擋視窗擋板及百葉窗視窗擋板
2）視窗擋板規(guī)格：CF35,CF63,CF100,CF150
3）適用于10-11Torr真空環(huán)境
快速進(jìn)樣門(mén)
1）快速進(jìn)樣門(mén)采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，關(guān)閉更加可靠
2）快速進(jìn)樣門(mén)有帶視窗版和盲板兩種類(lèi)型
3）快速進(jìn)樣門(mén)規(guī)格：CF35,CF63,CF100,CF150,CF200
4）適用于10-9 Torr真空環(huán)境
