產(chǎn)品介紹
俄歇電子能譜儀（AES），是通過采集俄歇電子，分析材料的表層化學(xué)成分定性或定量信息的儀器，主要應(yīng)用于表層輕微元素分析。俄歇電子能譜儀的結(jié)構(gòu)由置于超高真空的旋轉(zhuǎn)式樣品臺、電子槍（激發(fā)源）、聚焦離子槍、電子能量分析器、電子探測器等部件組成主，并配有計算機進行數(shù)據(jù)處理。
主要技術(shù)參數(shù)：
1、適用于旗型樣品托,高精度4維樣品臺（X Y Z +旋轉(zhuǎn)）
2、樣品加熱溫度可達：1000℃以上，潔凈加熱器
3、系統(tǒng)本底真空：10-11 Torr 量級
4、采用整體加工一體成型腔室
5、電子槍具備聚焦和掃描功能
6、配備雙筒棱鏡電子能量分析器
1）俄歇電子動能1000 e V時能量分辨好于1.4 eV2）可采集動能范圍 0 - 2500 e V
3）電子槍束斑可以小到80微米
4）電子槍束流可以達到80微安
5）電子束能量20 eV～5 keV
