產(chǎn)品介紹
超高真空熱脫附質(zhì)譜（UHV-TDS）工作站通過加熱樣品，進而采用質(zhì)譜儀，定量分析熱脫附的氣體成分。
工作站具有多接口超高分析真空室，其配備樣品加熱臺、四極質(zhì)譜儀，具有很高的靈敏度和時間分辨率。四極桿質(zhì)譜（RGA）配置水冷套，以給質(zhì)譜提供最佳靈敏度環(huán)境。工作站同時也配備Load - Lock系統(tǒng)，實現(xiàn)快速樣品裝載及傳輸。UHV TDS工作站是一個緊湊的臺式裝置，可以有效節(jié)省寶貴的實驗室空間。
主要技術(shù)參數(shù)：
1）樣品托：旗型樣品托或定制樣品托
2）配置4維高溫樣品臺，可以實現(xiàn)快速升溫
3）樣品加熱臺：電子束加熱、電阻加熱、激光加熱
4）最高加熱溫度：1800℃
5）系統(tǒng)極限真空：10-11 Torr量級
6）系統(tǒng)配置四級桿質(zhì)譜：1-200amu （帶屏蔽和運動控制）
7）系統(tǒng)配置整體烘烤系統(tǒng)
