產(chǎn)品介紹
工業(yè)級電子束蒸鍍機(jī)主要用于鈦、鋁、鉬、銅、鋅等金屬物以及氮化鈦、二氧化硅等化合物材料的高速生長沉積，從而實現(xiàn)高效大批量產(chǎn)能。
電子槍可以容納多個坩堝（最多8個），實現(xiàn)多種材料交替沉積或配雙電子槍實現(xiàn)共沉積的鍍膜工藝。采用高精度的雙探頭膜厚測量儀，對鍍膜過程進(jìn)行全程在線監(jiān)控，配備鍍膜均勻擋板，可以輕松實現(xiàn)良好的大襯底的膜厚均勻性。
主要技術(shù)參數(shù)：
1）襯底尺寸：4英寸、6英寸、8英寸
2）襯底個數(shù)：4、6、8、12等可選
3）沉積均勻性：±3%
4）樣品架形式：穹頂式、行星式可選
5）襯底加熱溫度：室溫至450℃，旋轉(zhuǎn)速率0-20rpm
6）離子源輔助沉積鍍膜及樣品清洗功能可選
7）多種電子槍坩堝個數(shù)和容積的組合可選
8） 電子槍個數(shù)：單個或兩個可選
9）雙探頭QCM膜厚在線監(jiān)控
10）蒸發(fā)本底真空：10-8 Torr高真空
11）主抽真空泵：低溫泵
12）維護(hù)模式或全自動或手動控制模式可選
